プロービング配線5μm程度も可能
最大観察倍率5000倍対応でミクロパターンへのプローブコンタクトが容易
| ・サンプル | ：CPU基板 |
| ・サンプリング機器 | ：アクシスプロSS |
| ・機器アクセサリ | ：電極ホルダー（AP-DH-LL）他 |
| ・マイクロツール | ：タングステンプローブ |
アプリケーションApplication
 表面付着物、落下異物採取と受渡し |
| 埋没異物の表面断面出し 不要部位の除去 |
| 埋没異物の掘り出し単離と受渡し |
| 粘着材中にある混入異物 把持採取と受渡し |
| FIB薄片リフトアウト 姿勢制御と受渡し |
| 硬質試料マーキング 線幅5μm以下も可能 |
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