電動高精度ローテーター
グローブボックス内の作業に最適 【持込/来社/オンラインデモ対応】
アクシスプロのソフトウェアで操作可能な電動回転制御システムです。
グローブボックス内など、手作業が困難な環境で使用を想定しています。
電動ステージなどを組み合わせれば、理想的なリフトアウトシステムが構築できます。
アプリケーション例
- FIB薄片リフトアウト 姿勢制御と受渡し
- 採取した粒子の姿勢制御（AFMカンチレバーへ）
- 異物を分析ディスクへ受け渡す際の向き調整
- 切削ツールを使う際の角度微調整
- ツールの裏に付着した微量対象物の確認
取付可能なツールラインナップ
| 用途 | マイクロツール | モデル |
| FIBリフトアウト | サンプリングプローブ | MST-002,005,007 |
| 異物サンプリング | タングステンプローブ | TP-0005,001,005,010,030 |
| 切削・切開 | ハードメタルツール | MPE-1,2,4 / CP-005 / KE-1,2 |
ラインナップ
| 電動高精度ローテーター | HPR-2E | AxisPro、QuickPro用左右兼用 |
|---|
アプリケーションApplication
 表面付着物、落下異物採取と受渡し |
| 埋没異物の表面断面出し 不要部位の除去 |
| 埋没異物の掘り出し単離と受渡し |
| 粘着材中にある混入異物 把持採取と受渡し |
| FIB薄片リフトアウト 姿勢制御と受渡し |
| 硬質試料マーキング 線幅5μm以下も可能 |
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