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vol.85 切削事例のご紹介

試料最表面薄層の削り取りに有効なマイクロ サンプリング手法

今回は、超音波切削アタッチメント「ミリングプロ」に、0.5μmのタングステンプローブ(TP-0005)を装着した精密切削の事例をご紹介します。作業の様子は、YouTubeよりご覧いただけます。

用途としては、下記のような事例があります。
表面に付着した極薄の異物採取
最表面層を単離しての成分分析
最表面層だけを切削して表面を露出させて分析
酸化した表面や絶縁層を削ってプローブをコンタクトする

今回ご紹介する試料は下記の3種で、すべて画面倍率2,000~3,000倍での作業となります。
磁性媒体表面の10μmエリアの切削
ニトリルゴム最表面の10μm突起切削
純アルミ板の表面10μm角を切削

人の手ではできない作業も、顕微鏡一体型のアクシスプロとの組み合わせであればこの要求は可能になります。

<磁性媒体表面の10μmエリアの切削>


<ニトリルゴム最表面の10μm突起切削>

<純アルミ板の表面10μm角を切削>